非常停止スイッチのアクセサリにガードリングがあります。 これは、半導体製造装置にのみ使用することができます。 半導体製造装置の規格である、IEC 60204-33およびSEMIガイドラインにおいて、EMO(緊急シャットダウン)には、誤操作防止用にガードリングを使用することを認めています。 IEC 60204-33 10.7項 e) 偶発的に操作される可能性を最小化するように,適切な取付場所を選ぶ、またはガードリングを付ける。 ガードリングを付ける場合は,ガードリングのある状態でも掌の付け根でアクチュエータを操作可能な構造でなければならない。 WebSEMI緊急遮断用 EMOスイッチ ¥4,250 標準価格 数量 特長 仕様 ドキュメント 特長 SEMI規格S2に適合したEmergency Off(EMO)スイッチ 直接開路動作機能 セーフティロック …
EMO Switches McMaster-Carr
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SEMI緊急遮断用 EMOスイッチ 非常停止用押ボタンス …
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